厚膜湿度传感器结构，原理及特性介绍

厚膜湿度传感器结构，原理及特性介绍
厚膜湿度传感器结构，原理及特性介绍

1. 厚膜湿度传感器构造与原理

厚膜湿度传感器，是最近开发出来的产品，改善了使用前加热除污的麻烦，它是利用厚膜混合IC 制作技术及电子陶质技术来制作出采用电气阻抗转换方式的传感器。这种传感器的外围尺寸为 14.7 x 21.0 x 6.0mm。图1所示者为这种传感器的结构。该感测器有两个金属厚膜的梳形电极，此两电极是生成在陶质基板上，在梳形电极的上面形成厚达10μm 的厚膜感湿层，另外在感湿层上又覆盖一层防止感湿层污染用的过滤器，一般是由多孔性高分子膜形成。此类组件的感湿层为具有多孔质结构的ZrO2 类的厚膜，其上面处理了一层碱金属以稳定阻抗值的调整过程。传感器的两极间传导介质，则是由感湿层吸着水之后，表面解离产生的氢离子担任，当湿度高时解离的氢离子增加，传感器的阻抗随即降低。



       图1 厚膜湿度传感器结构外型