本文主要超薄芯片的背面金属化中的一些问题,阐述了两种主要的背面金属化工艺的建立,并解决了这两个工艺中关键问题,使得工艺获得好的成品率,提高了产品的可靠性,实现了大规模量产。流程(一)介绍了一种通过技术转移在上海先进半导体制造有限公司(ASMC)开发的一种特殊工艺,工艺采用特殊背面去应力工艺,通过机械应力和背银沾污的控制,将背面金属和硅片的黏附力和金硅接触电阻大大改善。论文同时阐述了一种自创的检验黏附力的方法,通过这种方法的监控,大幅度提高了产品良率,本论文的研究课题来源于企业的大规模生产实践,对于同类的低压低导通电阻VDMOS产品有实用的参考意义。流程(二)讨论了在半导体器件中应用最为广泛的金-硅合金工艺的失效模式及其解决办法。并介绍了我公司独创的刻蚀-淀积-合金以及应力控制同时完成的方案。通过这种技术,使得金硅合金质量得到大步的提升,并同时大大减少了背金工艺中的碎片问题,为企业获得了很好的效益。
上传时间: 2022-06-26
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Mini2440是一款真正低价实用的ARM9开发板,是目前国内性价比最高的一款学习板;它采用Samsung S3C2440为微处理器,并采用专业稳定的CPU内核电源芯片和复位芯片来保证系统运行时的稳定性。mini2440的PCB采用沉金工艺的四层板设计,专业等长布线,保证关键信号线的信号完整性,生产采用机器贴片,批量生产;出厂时都经过严格的质量控制,配合这本十分详细的手册,可以迅速帮你掌握嵌入式 Linux和WinCE开发的流程,只要有C语言基础的人一般2周即可入门。 附件含有MINI2440原理图和封装库
上传时间: 2013-10-08
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本文详细的介绍来常见PCB表面处理工艺——热风整平,沉金等工艺的特点
上传时间: 2016-04-24
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用于MEMS芯片封盖保护的金-硅键合新结构,与器件制造工艺兼容!键合温度低!有足够的键合强度,不损坏器件结构,实现了MEMS器件的芯片级封装。
上传时间: 2016-07-26
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数控加工工艺与编程课件 ppt
上传时间: 2013-05-21
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数控加工工艺与编程课件
上传时间: 2013-07-19
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机械加工工艺手册(软件版)
上传时间: 2013-07-22
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机械零件切削加工工艺与技术标准实用手册 35.1
上传时间: 2013-04-15
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机械制造工艺基础
上传时间: 2013-04-15
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机械制造工艺及夹具设计 - 兰州工业高等专科学校ht
上传时间: 2013-04-15
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