MEMS

微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

资源总数
130

MEMS 全部资料 130 份

一套基于加速度计余度配置的MEMS捷联惯导初始对准方法资料，包含算法设计与实现细节，适用于惯性导航系统开发与优化。

2026-01-17 1 MEMS

为了实现液压系统的动态测量，给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据，在已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化，并对MEMS 芯体和优化后的MEMS

2023-10-24 1 MEMS

RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世界范围

2023-10-25 9 MEMS

文章针对一种三维MEMS 加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述，指出该型MEMS 加速度计的结构优点及性能

2023-10-26 2 MEMS

本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。关键词：汽车传感器、微机电系统、力

2024-01-18 7 MEMS

微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 　微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术

2024-02-27 3 MEMS

侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2 万倍至几十万倍， 要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境， 又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS 大g 值加速度计属电容传感器，

2024-02-26 9 MEMS