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微机电系统(MEMS) 技术及其应用 - 资源详细说明
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.
[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
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