体微加工

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本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条...

2022-07-10 75 体微加工

介绍了一种用单片机控制的小型机床,其可以实现微孔加工的自适应控制.测量系统装在专用的数控微孔精密机床上,机床夹具与工作台之间的测扭、测力压电传感器,同时测量轴向力与扭矩的变化值,根据所测扭矩、轴向力大小调整加工的进给量,控制钻头轴向进退及排...

2024-11-12 7 体微加工

分析了用一片单片机控制某液体工质加注的实现方法,并给出了总体框图和单片机系统的原理图,以及软件设计的流程图,对关键部分的设计进行了说明.

2024-12-09 10 体微加工