微机械系统

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微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应

2024-05-08 6 微机械系统

自从Clark 和Lyons 在1962 年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相 继问世. 这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能

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