微纳米加工

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本书集作者多年来的实践经验与研究成果，系统地介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术，对各种加工技术着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条...

2022-07-10 75 微纳米加工

纳米技术是当代科学发展的新兴领域之一。它的最终目标是在纳米尺度上制造具有特定功能的产品，实现生产方式的飞跃。扫描探针显微镜（SPM）纳米加工技术是目前非常活跃的纳米加工研究领域，其加工技术将会成为纳米器件制作的主要方法。本论文主要介绍了单原...

2026-02-27 2 微纳米加工