基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究 - 免费下载
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资源简介
纳米技术是当代科学发展的新兴领域之一。它的最终目标是在纳米尺度上制造具有特定功能的产品，实现生产方式的飞跃。扫描探针显微镜（SPM）纳米加工技术是目前非常活跃的纳米加工研究领域，其加工技术将会成为纳米器件制作的主要方法。本论文主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法、以及机械刻蚀加工等SPM纳米加工方法的特点和研究进展方向。
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