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基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究 - 资源详细说明
利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X 2Y 两自由度精密定位工作台, 并利用有限元分析法对机构进行了优化设计, 采用电阻应变片作为微位移检测传感器, 在此基础上设计了闭环控制器, 该控制器包括压电陶
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