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MEMS传感器的优化与动态试验

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为了实现液压系统的动态测量，给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据，在
已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化，并对
MEMS 芯体和优化后的MEMS

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