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三维MEMS加速度计的测试方法 - 资源详细说明
文章针对一种三维MEMS 加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，
并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的
描述，指出该型MEMS 加速度计的结构优点及性能
并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的
描述，指出该型MEMS 加速度计的结构优点及性能
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