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RF-MEMS器件及其关键工艺技术

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RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统
射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世界范围

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