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Abstract: The number of uses for microelectromechanical systems (MEMS) is growing—they allow us todo jobs once con...
本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。关键词：汽车传感器、微机电系统、力
微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
为了实现液压系统的动态测量，给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据，在已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化，并对MEMS 芯体和优化后的MEMS
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世界范围
文章针对一种三维MEMS 加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述，指出该型MEMS 加速度计的结构优点及性能
航模常用的传感芯片.InvenSense公司的MPU6050芯片内部集成了三轴加速度计和三轴陀螺仪，不仅消除了我们焊接电路板时易造成的加速度计和陀螺仪之间的对准误差（alignment error），而且由于其内置了数字可编程的低通滤波器，...