磁控溅射的原理论文
难得一见的磁控溅射原理论文，系统梳理了其物理机制与工艺基础，适合从事薄膜制备与材料科学的研究者参考。...
磁控溅射技术资料
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查看全部10个资源 »磁控溅射原理的深入探讨.rar
本文对磁控溅射的工作原理进行了详细的分析。...
40kW中频脉冲溅射电源设计.rar
随着生产生活和科学技术的不断发展，用户对镀膜产品质量的要求越来越高，需求量也越来越大。这就要求镀膜设备具有较高的精度、良好的稳定性，具有较高的镀膜效率和镀膜质量。磁控溅射作为镀膜技术的一个重要分支，也相应的得到了较快的发展，它分为直流磁控溅射，非平衡磁控溅射，射频磁控溅射和脉冲磁控溅射等磁控溅射方式...
Ti（Ta）O2薄膜的表面形貌对血管内皮细胞生长量影响的研究
采用磁控溅射合成不同Ta含量的系列Ti(Ta)O2薄膜。利用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）对薄膜的表面形貌进行表征。并对薄膜表面进行人脐静脉内皮细胞（HUVEC）种植试验以评价...
表面热处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响
摘 要：用RF磁控溅射的方法在最佳沉积条件下在Si（100）基底上沉积了纳米氮化硼薄膜，然后对薄膜在真空度低于5×10-4Pa、温度分别为800℃和1000℃条件下进行了表面热处理，分别用红外光...
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