磁控溅射
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磁溅式真空镀膜机自动控制系统
真空镀膜机是一种直流磁控反应溅射镀膜机， 主要应用于太阳能真空管的制造过程。通过改变靶材与工艺参数， 在工件表面上镀制纯金属膜、 合金膜以及多种金属的化合物膜。三靶镀膜机真空室内有 3种靶材 ， 通过修改工艺运行...
2022-09-17
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40kW中频脉冲溅射电源设计.rar
随着生产生活和科学技术的不断发展，用户对镀膜产品质量的要求越来越高，需求量也越来越大。这就要求镀膜设备具有较高的精度、良好的稳定性，具有较高的镀膜效率和镀膜质量。磁控溅射作为镀膜技术的一个重要分支，也相应的得到了较快的发展，它分为直流磁控溅...
2023-09-11
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离子束溅射镀膜机电源的研制
本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案，并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明：该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求，现场运行稳定可靠
2023-10-14
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电磁发射器DSP控制系统的设计
·摘要： 本文论述了电磁发射原理,并在此基础上设计了电磁发射器D S P控制系统,该系统具有控制速度快、控制精度高、抗电磁干扰以及良好的人机界面等优点.文中详细论述了P W M输出控制以及P W M产生的原理;设计了过流、过压保...
2024-11-24
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