微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,他们存在两种缺陷,即(a)较高的工作温度(不小于300℃)及(b)较大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金属氧
移动硬盘在数据存储领域的作用越来越大，人们对硬盘信息安全性越来越重视。对移动硬盘数据进行加密处理，是当前保护数据安全的主要趋势和手段。传统ATA硬盘密码锁或软件加密的方式，存在着降低系统性能和自身安全性等问题。硬件加密的方式，破解难度大，安...
·摘 要:实现对MEMS的微结构平面运动幅值提取和分析,为提高MEMS器件的性能和可靠性分析提供重要参考。在连续光照明条件下,提出了一种基于模糊集图像增强技术与小波变换边缘检测技术相结合的MEMS运动幅值测量方法。该方法通过模糊集技术对ME...
用于MEMS芯片封盖保护的金-硅键合新结构，与器件制造工艺兼容!键合温度低!有足够的键合强度，不损坏器件结构，实现了MEMS器件的芯片级封装。
研究了一种新型三维MEMS加速度计的性能特点和工作原理。针对加速度计的输出接口特点，设计了基于数字信号处理（DSP）芯片的数据采集系统，实现对加速度计信号的高速实时采集。利用多通道缓存串行口MCBSP实现SPI总线方式的数据采集...
意法半导体已售出超过140亿个微机电传感器，提供业界最全面的MEMS系列产品，包括加速度计、陀螺仪、数字罗 盘、惯性模块、MEMS麦克风和环境（包括压力、温度和湿度）传感器。独特的传感器产品组合，从分立式到集成式解决方案，满足了所有设计需...
· 摘要： 针对微型飞行器(MAV)的特点介绍了一种基于微机电系统(MEMS)传感器的微型航姿仪,它包括三轴陀螺、三轴加速度传感器、三轴磁阻传感器和数字信号处理器(DSP).详细给出了系统整体方案设计和具体的硬件选型和...