智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计

微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点, 是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定, 介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响。关键词 气体 压力 流速 微热板 气体传感器

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提供《高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析》完整技术工程技术资料下载（归档大小 1044 K），包含相关硬件原理图参考、开发文档或源代码工程。