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气压和流速对微热板气体传感器的影响

  • 资源大小:185 K
  • 上传时间: 2023-12-03
  • 上传用户:yiyewumian
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 学术论文

资 源 简 介

微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点, 是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定, 介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响。
关键词 气体 压力 流速 微热板 气体传感器

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