提出一种基于温差测量原理测量低流速气体流量的方法并进行了实验验证$ 传感器由一对集成温度传感器芯片与片状铂电阻热源构成，专门设计的片上恒流供电电路保证了热源加热功率的稳定对该流量传感器样品进行
气压和流速对微热板气体传感器的影响
资料详细技术说明
微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点, 是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定, 介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响。
关键词 气体 压力 流速 微热板 气体传感器
关键词 气体 压力 流速 微热板 气体传感器
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