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气压和流速对微热板气体传感器的影响 - 资源详细说明
微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点, 是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定, 介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响。
关键词 气体 压力 流速 微热板 气体传感器
关键词 气体 压力 流速 微热板 气体传感器
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