一种基于BCB键合技术的新型MEMS圆片级封装工艺
选用4000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘接键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,采用该技术成功加工出具有三层结构的圆片级封装某种惯性压阻类传感器。依据标准GJB548A对其进行了剪切强度和检漏测试,测得封装样品漏率小于5×10pa·cm3/s,键合强度大于49 N,满足考核要求。...
选用4000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘接键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,采用该技术成功加工出具有三层结构的圆片级封装某种惯性压阻类传感器。依据标准GJB548A对其进行了剪切强度和检漏测试,测得封装样品漏率小于5×10pa·cm3/s,键合强度大于49 N,满足考核要求。...
静电场分析用以确定由电荷分布或外加 电势所产生的电场和电标势(电压)分布。 该分析能加两种形式的载荷:电压和电 荷密度。 静电分析是假定为线性的,电场正比于 所加电压。...
低压开关柜出线电缆连接完成后,在通电的情况下,出线座和电缆线耳会带电。如果没有绝缘防护,维护人员进入电缆隔室时会有触电的危险。 为了防止开关设备维护人员进入电缆隔室时触电,可以采用不同的办法来解决。 1)把每...
:基于城市暴雨强度公式,应用芝加哥降雨过程线模型产生了典型降雨过程曲线...
就是通过光敏电阻可以检测出环境的光照强度,然后通过PWM调光可以进行光照的补充。...