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MEMS中的封装技术研究 - 资源详细说明
MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性!因此!早期MEMS的封装
大多借用半导体中现成的工艺%本文首先介绍了封装的主要形式!然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装&!’%最后给出了一些商业化的实例%
大多借用半导体中现成的工艺%本文首先介绍了封装的主要形式!然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装&!’%最后给出了一些商业化的实例%
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