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MEMS1 (微机电系统)利用专为半导体集成电路所开发的制造工艺设施实现生产制造。微机电结构的实现方法是通过在半导体基片上刻蚀特定的图形,来实现传感器单元或者可以移动零点几微米的机械执行器。MEMS 压力传感器是第一类批量应用的产品,如今用于负责监测数以亿计的发动机歧管和轮胎的压力;而MEMS 加速...

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文章针对一种三维MEMS 加速度计,提出了三维加速度计的测试方法,并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述,指出该型MEMS 加速度计的结构优点及性能...

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