用MEMS加速度计作为拾音器实现乐器音效完美再现 - 免费下载
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资源简介
MEMS1 (微机电系统)利用专为半导体集成电路所开发的制造工艺设施实现生产制造。微机电结构的实现方法是通过在半导体基片上刻蚀特定的图形，来实现传感器单元或者可以移动零点几微米的机械执行器。MEMS 压力传感器是第一类批量应用的产品，如今用于负责监测数以亿计的发动机歧管和轮胎的压力；而MEMS 加速度计则用于安全气囊、翻滚检测以及汽车报警系统，时间也已超过15 年之久。
MEMS 加速度计还用于消费电子领域里的运动感应，如视频游戏与手机。MEMS 微镜光学执行器用于投影仪、HDTV 以及数字影院。近几年，MEMS 麦克风 也开始进入广阔的消费市场，包括手机、蓝牙耳机、个人计算机以及数码相机等。
本文将讨论 MEMS 加速度计产品中所采用的一些关键技术，并讨论这些技术如何为声学传感器带来新应用。
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