微惯性仪表—微机械加速度计
本书为微惯性仪表—微机械加速度计-董景新-清华大学出版社，适合MEMS人员阅读使用，内容详实丰富...
微加速度计技术资料
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微加速度计最典型的是原理：以一个质量块作为敏感部件，当载体有某一方向的加速度时，质量块向一个方向偏移，然后通过电极测量这个位移量（或产生偏移的惯性力）换算为加速度。
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查看全部1635个资源 »FPGA的微加速度计数据采集系统设计
文章介绍一种采用ARM和FPGA架构来采集加速度数值的硬件设计方案。...
叉指微加速度计的设计与闭环检测研究
设计了一种“叉指式”微机械加速度计和相应的闭环检测电路，介绍了此微加速度计的加工工艺，并使用Ansys 软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合。最后对该闭环微加速度计进行了测试，得到的...
微加速度计在恶劣环境下的可靠性
微加速度计的可靠性问题是其能否迅速走向市场的关键。本文对压阻式悬臂梁加速度计在不同的环境下的失效模式进行了讨论，并给出了一些加速度计可靠性设计方面的建议，可以为其他科研工作者提供参考。...
电容式硅微加速度计变换方程的研究
研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之...
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