硅微
探索硅微技术的无限可能，从基础理论到前沿应用，这里汇聚了2004份精选资源。作为现代电子工程的核心，硅微技术以其高集成度、低功耗及卓越性能，在半导体制造、集成电路设计以及MEMS（微机电系统）开发中发挥着至关重要的作用。无论是初学者还是资深工程师，都能在此找到宝贵的学习资料与实践案例，助力您掌握这一...
硅微 热门资料
查看全部 906 份 →基于硅结构的微流体控制系统
基于硅结构的微流体控制系统(μFCs) 是微机电系统(MEMS) 中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国...
硅谐振微传感器中微现象测量技术
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词: 信息...
一种硅微振动角速度传感器
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’...
提高硅微谐振系统性能的一项有效措施
·摘要： 介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现.详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术.结合实验数据和...
电容式硅微加速度计变换方程的研究
研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之...