虫虫开发者 虫虫开发者 电子工程与源码社区
热门搜索： STM32 开关电源 FPGA 51单片机 电路图 Altium Modbus 热搜词库 »
上传资料
已收录 672,333 份工程资料
PDF文档 技术资料 人工审核无毒

一种硅微振动角速度传感器

所属分类 技术资料
文件大小 413 K
文件格式 压缩文档
累计下载 1 次
分享作者
发布日期

资料详细技术说明

介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’

相关技术资料推荐

下载与解压说明

下载积分规则

  • 本资源下载仅需 2 积分
  • 24 小时内重复下载免扣积分
  • VIP 会员享专属免积分高速通道

文件解压指南

  • 推荐使用 7-Zip 或新版 WinRAR 解压
  • 原理图与 PCB 请使用对应 EDA 软件打开
  • 压缩包内源码可直接在上方在线预览

免费获取积分