利用LIGA技术研制超微步进电机
·利用LIGA技术研制超微步进电机...
LIGA技术资料
📦 资源总数：4
🔥 LIGA热门资料
UV_LIGA技术光刻工艺的研究
华中科技大学的硕士学位论文，使用光刻胶中的参数的研究：涂胶、前烘、曝光、后烘、热应力、显影...
A novel Ka-band bandpass filter using LIGA micromachined proce
A novel Ka-band bandpass filter using LIGA micromachined proce...
MEMS器件气密封装工艺规范
MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密机械加工等多种加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统....
📂 LIGA资料分类