A novel Ka-band bandpass filter using LIGA micromachined proce
标签： micromachined bandpass Ka-band filter
上传时间： 2013-12-25
上传用户：宋桃子
MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密机械加工等多种加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统.
标签： MEMS 器件 密封 工艺规范
上传时间： 2013-10-13
上传用户：66666
