UV_LIGA技术光刻工艺的研究 华中科技大学的硕士学位论文,使用光刻胶中的参数的研究:涂胶、前烘、曝光、后烘、热应力、显影... ⬇️ 6 次下载 微细加工 微机电系统 MEMS UV-LIGA SU-8 光刻胶
A novel Ka-band bandpass filter using LIGA micromachined proce A novel Ka-band bandpass filter using LIGA micromachined proce... 👤 宋桃子 ⬇️ 197 次下载 micromachined bandpass Ka-band filter
MEMS器件气密封装工艺规范 MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密机械加工等多种加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统.... 👤 66666 ⬇️ 33 次下载 MEMS 器件 密封 工艺规范