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A novel Ka-band bandpass filter using LIGA micromachined proce
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micromachined
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微传感器与微执行器全书 -Micromachined Transducers Sourcebook
此书为美国 格雷戈里 T.A. 科瓦奇著，由张文栋教授等人编译，是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。...