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八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软
2023-10-26
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宽温度压阻式传感器的热灵敏度漂移补偿
介绍了压阻式传感器的灵敏度温度补偿原理,给出了一种在宽温度范围内采用了分段补偿方式进行灵敏度温度补偿的方法,实现了宽温度范围内较高的补偿准确度。这里介绍的方案是通过数- 模组合硬件电路实现分段补偿,具
2023-12-27
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