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八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究 - 资源详细说明
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的
传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软
传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软
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