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随着几乎所有产品种类对传感器的数量、类型与感应范围的要求的提高，实现这些传感器的难度也在成比例地增加。由效率、安全性与排放量引领需求的汽车领域尤其如此。现有的传感器技术已经不能达到其中许多新的和更严格的要求，从而促进了一种新的基于微机电系统...

2023-02-24 8 精灵

本文通过使用already-on(native)元件所提出的阵列式灵敏放大器的改进结构，虽然该结构会使版图的面积增大，芯片的成本增加；但在它处于低功耗模式时，可有效的感应位线上更小的充电电流。

2024-01-24 4 精灵

许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,

2024-01-25 6 精灵