高灵敏度微机械薄膜的设计、模拟与优化 - 免费下载
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资源简介
许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,
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