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真空蚀刻

  • 最新电子元器件产品大全 (第三册) 真空电子器件与显示器件.pdf

    最新电子元器件产品大全 (第三册) 真空电子器件与显示器件.pdf

    标签: 电子元器件

    上传时间: 2022-01-07

    上传用户:kingwide

  • 真空手册.pdf

    真空手册.pdf真空手册.pdf真空手册.pdf

    标签: 真空技术

    上传时间: 2022-01-07

    上传用户:默默

  • 电真空材料手册 第二册.pdf

    电真空材料手册 第二册.pdf电真空材料手册 第二册.pdf

    标签: 电真空材料

    上传时间: 2022-01-09

    上传用户:d1997wayne

  • 真空技术实用指南.

    真空技术实用指南.pdf真空技术实用指南.pdf

    标签: 真空技术

    上传时间: 2022-01-09

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  • 实用真空技术.pdf

    实用真空技术.pdf实用真空技术.pdf实用真空技术.pdf

    标签: 真空技术

    上传时间: 2022-01-09

    上传用户:

  • 电子工业生产技术手册 (第五卷) 电真空器件卷.pdf

    电子工业生产技术手册 (第五卷) 电真空器件卷.pdf

    标签: 电子工业生产 电真空器

    上传时间: 2022-01-09

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  • 电子工业生产技术手册 (第四卷) 电真空器件卷

    电子工业生产技术手册 (第四卷) 电真空器件卷

    标签: 电子工业生产

    上传时间: 2022-01-09

    上传用户:zhaiyawei

  • 计算光刻参考书

    计算光刻权威参考书北京理工大学马旭英文版理论推导加编程指导

    标签: 计算光刻

    上传时间: 2022-04-22

    上传用户:默默

  • 基于运算放大器的压控恒流源

    恒流源(vCCS)的研究历经数十年,从早期的晶体管恒流源到现在的集成电路恒流源恒定电流在各个领域的广泛使用激发起人们对恒流源的研究不断深入和多样化。稳恒电流在加速器中的使用是加速器结构改善的一个标志。从早期的单一依靠磁场线圈到加入匀场环,到校正线圈的使用,束流输运系统的改进有效地提高了束流的品质,校正线圈是光刻于印制电路板上的导线圈,将其按照方位角放置在加速腔内,通电后,载流导线产生的横向磁场就可以起到校正偏心束流的作用。显然,稳定可调的恒流源是校正线圈有效工作的必要条件。针对现在加速粒子能量的提高,对校正线圈提出了新的供电需求,本文就这一需求研究了基于功率运算放大器的两种压控恒流源,为工程应用做技术储备。1设计思路用于校正线圈的恒流源供聚焦和补偿时使用输出功率不大,但要求调节精度高,稳定性好,纹波小。具体技术参数为:输出电流0~5A调节范围0.1~5.0A;调节精度5mA;负载电阻35;纹波稳定度优于1(相对5A);基准电压模块型号为REFo1而常用作恒流电源的电真空器件稳定电流建立时间长,场效应管夹断电压高、击穿电压低恒流区域窄,因此,我们选取了体积小效率高电流调节范围宽的放大器恒流源作为研究方向实验基本的设计思路是通过电源板将市电降压、整流、滤波后送入高精度电压基准源得到直流电压,输入功率运算放大器,在输出端得到放大的电流输出,如图1所示。

    标签: 运算放大器

    上传时间: 2022-04-24

    上传用户:xsr1983

  • 超薄芯片Backend工艺分析及失效研究

    本文主要超薄芯片的背面金属化中的一些问题,阐述了两种主要的背面金属化工艺的建立,并解决了这两个工艺中关键问题,使得工艺获得好的成品率,提高了产品的可靠性,实现了大规模量产。流程(一)介绍了一种通过技术转移在上海先进半导体制造有限公司(ASMC)开发的一种特殊工艺,工艺采用特殊背面去应力工艺,通过机械应力和背银沾污的控制,将背面金属和硅片的黏附力和金硅接触电阻大大改善。论文同时阐述了一种自创的检验黏附力的方法,通过这种方法的监控,大幅度提高了产品良率,本论文的研究课题来源于企业的大规模生产实践,对于同类的低压低导通电阻VDMOS产品有实用的参考意义。流程(二)讨论了在半导体器件中应用最为广泛的金-硅合金工艺的失效模式及其解决办法。并介绍了我公司独创的刻蚀-淀积-合金以及应力控制同时完成的方案。通过这种技术,使得金硅合金质量得到大步的提升,并同时大大减少了背金工艺中的碎片问题,为企业获得了很好的效益。

    标签: 超薄芯片 backend工艺

    上传时间: 2022-06-26

    上传用户:1208020161