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MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法,在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试,结果发现,金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和Au、管帽表面镀Ni可有效的提高真空封装的气密性和可靠性,其气...

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高频变压器真空含浸真空含浸适用于高频变压器、低频变压器、电感线圈、电机、电感器、整流器、五金铸件以及C型铁芯的浸漆处理的设备,具有提高线圈的机械强度,绝缘强度及防潮、防霉、降低噪音等功能;各类金属膜电容的树脂填充,电解电容,中/小型树脂工艺品的真空脱气工艺,及各类塑胶PU原材料真空脱气工艺。能提高产...

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