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传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,他们存在两种缺陷,即(a)较高的工作温度(不小于300℃)及(b)较大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金属氧

2023-10-24 4 微加工

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软

2023-10-26 4 微加工

·摘要：  详细介绍基于MEMS(Micro Electro Mechanical System)和DSP的微型惯性测量装置的软硬件设计.该装置的MEMS传感器单元由微机械陀螺和微加速度计组成,可精确测量载体的3个轴向角速度信息和...

2023-05-27 5 微加工

用广义板理论和有限元平板壳元素与三维实体元素的组合方法,建立了微型加速度传感器整体的有限元分析模型。对模型进行了静态和动态分析,给出了具体的分析结果。依据强度条件对工作梁进行了优化设计,使微型加

2024-04-05 3 微加工

用广义板理论和有限元平板壳元素与三维实体元素的组合方法,建立了微型加速度传感器整体的有限元分析模型。对模型进行了静态和动态分析,给出了具体的分析结果。依据强度条件对工作梁进行了优化设计,使微型

2023-12-31 4 微加工

建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号,阶跃加速度信号,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况;利用压控电容模型分析

2024-01-06 9 微加工