微加工
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微加工 热门资料
查看全部 500 份 →微纳米加工技术及其应用
本书集作者多年来的实践经验与研究成果，系统地介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术，对各种加工技术着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条...
2022-07-10
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用单片机控制的微孔加工技术
介绍了一种用单片机控制的小型机床,其可以实现微孔加工的自适应控制.测量系统装在专用的数控微孔精密机床上,机床夹具与工作台之间的测扭、测力压电传感器,同时测量轴向力与扭矩的变化值,根据所测扭矩、轴向力大小调整加工的进给量,控制钻头轴向进退及排...
2024-11-12
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石英微机械惯性传感器的加工技术
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词：石英；微机械陀螺；各向
2023-11-12
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超大规模集成电路微细加工技术.rar
资料->【C】嵌入系统->【C2】IC设计与FPGA->【1】IC设计与封装测试（CMOS、半导体、集成电路）->超大规模集成电路微细加工技术.rar
2024-12-01
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