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微机械加速度传感器性能的等效电学模拟

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资料详细技术说明

建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型,通过振动特性的等效电路模型分析了
加速度传感器对正弦加速度信号,阶跃加速度信号,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况;利用压控电容模型分析

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