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石英微机械惯性传感器的加工技术 - 资源详细说明
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。
关键词：石英；微机械陀螺；各向
关键词：石英；微机械陀螺；各向
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