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膜厚对四面体非晶碳膜机械性能的影响

  • 资源大小:333 K
  • 上传时间: 2024-02-14
  • 上传用户:13692533910
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 膜厚

资 源 简 介

采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在p(100)单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜,并利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应力,利用纳米压入仪测试薄膜的硬度、杨氏模量和临界刮擦载荷。试

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