乙醇对金刚石膜生长特性的影响 - 免费下载
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资源简介
采用EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备金刚石厚膜，在反应气体（CH4+H2）中添加乙醇，在保持其它条件不变的情况下研究
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