CVD金刚石厚膜晶格缺陷分析
摘要:应用X射线衍射仪的薄膜附件对热丝化学气相沉积金刚石厚膜的成核面和生长面进行分析,结果表明,金刚石厚膜的晶格常数从生长面到形核面沿深度方向是逐渐变小的。化学气相沉积金刚石初期生长的晶体存在大
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摘要:应用X射线衍射仪的薄膜附件对热丝化学气相沉积金刚石厚膜的成核面和生长面进行分析,结果表明,金刚石厚膜的晶格常数从生长面到形核面沿深度方向是逐渐变小的。化学气相沉积金刚石初期生长的晶体存在大
采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition, FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜。
人造金刚石合成设备属高温高压设备,由于压力失控、工步混乱等可能会酿成严重后果,故其单片机控制系统需要高度可靠和多重安全保护防范.本文介绍一种模仿PLC工作原理的单片机控制系统,论述其实现安全可靠的软硬件保障措施.
采用EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备金刚石厚膜,在反应气体(CH4+H2)中添加乙醇,在保持其它条件不变的情况下研究
由于金刚石与Si有较大的晶格失配度和表面能差,利用化学气相沉积(CVD)制备金刚石膜时,金刚石在镜面光滑的Si表面上成核率非常低。而负衬底偏压能够提高金刚石在镜面光滑的Si表面上的成核率,表明金
本文研究了金刚石压机测控系统的主要结构,讨论了温度、压力的检测和控制方法,进行了系统的软硬件设计。关键词:金刚石压机, 嵌入式技术, 温度, 压力。目前我国人造金刚石的生产多采用六面顶
以金刚石合成机控制系统改造为例,提出了一种基于IPC 与PLC 相结合的DCS 控制系统。在系统设计中,采用了上位机与下位机独立运行、以串行通信方式进行信息传递方法,并且引入了容错技术,大大提高了系统