超硬超厚类金刚石薄膜合成研究 - 免费下载
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资源简介
采用过滤真空阴极直流弧源（Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition, FCVA）方法沉积超硬（>6000HV）超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜。
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