虫虫首页|资源下载|资源专辑|精品软件
登录|注册

您现在的位置是:虫虫下载站 > 资源下载 > 技术资料 > 负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究

负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究

  • 资源大小:333 K
  • 上传时间: 2024-02-01
  • 上传用户:ibeikeleilei
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 偏压 增强 金刚石膜

资 源 简 介

由于金刚石与Si有较大的晶格失配度和表面能差,利用化学气相沉积(CVD)制备金刚石膜时,金刚石在镜面光滑的Si表面上成核率非常低。而负衬底偏压能够提高金刚石在镜面光滑的Si表面上的成核率,表明金

相 关 资 源