微电子机械系统技术及其应用
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应...
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·期刊论文:微电子机械系统中转速测量的光学方法...
微电子简述的哈吉dha结婚的骄傲和大客户大...
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