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微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应...

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微电子机械系统及其应用技术

提出了一种将铁电材料与M EM S 集成的新趋势, 并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器。关键词　M EM S　铁电材料　微传感器　微执行器...

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EM 铁电

·期刊论文：微电子机械系统中转速测量的光学方法...

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期刊微电子机械系统光学

微电子简述的哈吉dha结婚的骄傲和大客户大...

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微电子

微电子方面，用于2d MOS晶体管器件结构建模。仿真软件为pisces2。...

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微电子方面

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