RF-MEMS器件及其关键工艺技术
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件,易于单片集成,且其性能也优于传统射频器件,此外,RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置,如可重构天线。因此,RF-MEMS近年来已成为全世界范围...
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件,易于单片集成,且其性能也优于传统射频器件,此外,RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置,如可重构天线。因此,RF-MEMS近年来已成为全世界范围...
永磁电机制造关键工艺介绍,经验之谈,实用得很...
工艺路线是ERP 产品数据管理子系统中比较重要的模块,对系统有着重要的影响。本文首先指出了工艺路线设计过程中存在的问题,然后给出了产品数据管理子系统中工艺路线模块的一种设计方案,并且在产品数据...
金卤灯以其优异的显色指数和光效配以较长的光源寿命而充任新型高强度气体放电灯的先锋。如果金卤灯在寿命和光电参数得到保证的前提下, 对其实现小型化, 它将在室内照明(使用面广且量大)、汽车...
:低介 电常数材料和低电阻率金属的使 用可以有效地降低 互连线引起的延 时。c u因其 具有比 及 合金更低的电阻率和更 高的抗 电迁移能力而成 为新一代互连材料。论述 了 c u互 连技术的工艺过程及其研究发展现状。对 c u互连技术中的阻挡层材料、电化学镀 c u技术以及化 学机...