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微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
MEMS (Micro Electro Mechanical System) sensor technology is well established, and has brought benefi
侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2 万倍至几十万倍， 要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境， 又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS 大g 值加速度计属电容传感器，
EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器.文中根据频闪成像原理,利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路,该驱动电路可驱动高亮LED,以产生MEMS动态测试中所需的
ADXL345是ADI公司生产的一款超低功耗3轴加速度计，广泛应用于手机、医疗仪器、游戏和定点设备、工业仪器仪表及个人导航设备领域，他的分 辨率高达13位，测量范围达± 16g。数字输出数据为16位二进制补码格式，可通过SPI...
石英具有非凡的机械和压电特性, 使得从19 世纪40 年代中期以来一直作为基本的时钟器件. 尽管在陶瓷, 硅晶和RLC电路方面有60 多年的研究, 在此之前没有哪种材料或技术能替代石英振荡器, 鉴于其异常的温度稳定性和相位噪声特性. 估计2...