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随着高集成度和更精密的加速计产品的出现，系统设计师需要了解零件是如何校准的，因为这决定着他们是购买这些校准方案还是开发自己的校准程序。本文将讨论双轴加速计的校准工艺，并着重讨论最常见的误差源。
《微系统设计与制造》是2008年清华大学出版社出版的图书。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。微系统（MEMS）是一门多...
传统速度检波器由于内在结构的限制,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/ O 公司利用MEMS 技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性,可在检波器内部进行模/ 数转
资料->【E】光盘论文->【E1】斯坦福博士论文->04 calgary PhD Error Analysis and Stochastic Modeling of MEMS based Inertial Sensors for Land ...
本文提出了基于AD7745 构成的电容传感器阵列进行烟箱缺条检测的系统。系统由一个主单片机C8051F020，多个从单片机C8051F310 构成。主从单片机间采用SPI 总线通讯。从单
MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件，不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例，并解析了相应的原理，并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路。
高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限...