capacitive+MEMS
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capacitive+MEMS 热门资料
查看全部 135 份 →基于MEMS的姿态测量系统
基于MEMS 的姿态测量系统A MEMS2Ba sed Attitude Reference System 载体的姿态测量是载体进行预计轨迹运动的基础。姿态测量有多种方式,其中采
2024-02-01
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MEMS惯性传感器的焊接指南
Abstract: Standard PCB design and mounting processes can adversely influence MEMS inertial sensors.This application note...
2014-01-15
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MEMS传感器的静止带宽测试
对于采用MEMS加速度计和陀螺仪的工业系统而言，优化带宽可能是关键考虑因素。这代表着精度(噪声)与响应时间之间的一种经典权衡。虽然多数MEMS传感器制造商都会给出典型带宽指标，往往还需要验证传感器或整个系统的实际带宽。在确定加速度计和陀螺仪...
2013-11-01
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MEMS真空熔焊封装工艺研究
MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法，在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试，结果发现，金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和A...
2016-07-26
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