RF-MEMS
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基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺
对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究,该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势,是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,在低温250 ℃和适当压力辅...
2013-11-17
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ADI ADMP441高性能低功耗数字MEMS麦克风解决方案
ADIADMP441高性能低功耗数字MEMS麦克风解决方案
2022-07-05
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智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计
传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,他们存在两种缺陷,即(a)较高的工作温度(不小于300℃)及(b)较大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金属氧
2023-10-24
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FPGA控制MEMS强链的移动硬盘加密系统设计.rar
移动硬盘在数据存储领域的作用越来越大,人们对硬盘信息安全性越来越重视。对移动硬盘数据进行加密处理,是当前保护数据安全的主要趋势和手段。传统ATA硬盘密码锁或软件加密的方式,存在着降低系统性能和自身安全性等问题。硬件加密的方式,破解难度大,安...
2023-09-28
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基于模糊集与小波技术的MEMS平面运动测量
·摘 要:实现对MEMS的微结构平面运动幅值提取和分析,为提高MEMS器件的性能和可靠性分析提供重要参考。在连续光照明条件下,提出了一种基于模糊集图像增强技术与小波变换边缘检测技术相结合的MEMS运动幅值测量方法。该方法通过模糊集技术对ME...
2024-09-13
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